六氟化硫SF6 1.別名?英文名 Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride. 2.用途 電子設(shè)備、雷達波導(dǎo)、粒子加速器、變壓器、避雷器等的氣絕緣體,制冷劑,示蹤裝置,醫(yī)療,半導(dǎo)體制造中的蝕刻、化學(xué)相淀積、標準氣,檢漏氣體,色譜儀的載氣。 3.制法 在高溫下硫和氟反應(yīng)制得。 S+3F2→SF6 4.理化特性 分子量: 146.054 熔點(224kPa): -50.8℃ 升化點(101.325kPa): -63.7℃ 液體密度(-50.8℃): 1880kg/m3 氣體密度(0℃,101.325kPa): 6.52kg/m3 相對密度(氣體,空氣=1,20℃,101.325kPa):5.114 比容(21.1℃,101.325kPa):0.1516m3/kg 臨界溫度: 45.5℃ 臨界壓力: 3759kPa 臨界密度: 736kg/m3 熔化熱(222.35K,224kPa): 34.38kJ/kg 氣化熱(-63.8℃,101.325kPa): 161.61kJ/kg 比熱容(氣體,25℃,101.325kPa):CP=665.18J/(kg?K) (液體,225K): C=759.14J/(kg?K) 蒸氣壓(-20℃): 680kpa。 (0℃): 1250kPa (30℃): 2680kPa 粘度(101.325kPa,0℃):0.0142mPa?S (液體,229.85K):0.500mPa?S 表面張力(-50℃): 11.63mN/m 導(dǎo)熱系數(shù)(101.325kPa,0℃):0.01206W/(m?K) 折射率(氣體,0℃,101.325kPa): 1.000783 5.毒性 最高容許濃度:10ppm(12mg/m3) 六氟化硫在生理學(xué)上是不活潑的,在藥理學(xué)上認為是惰性氣體。但是當(dāng)含有SF4等雜質(zhì)時便變成有毒物質(zhì)。當(dāng)吸入高濃度SF6時可出現(xiàn)呼吸困難、喘息、皮膚和粘膜變藍、全身痙攣等窒息癥狀。 6.安全防護 用氣裝置可用肥皂液檢漏。SF6無腐蝕性,可以使用不銹鋼、銅、鋁等通用材料。發(fā)生火災(zāi)時可用水和砂土滅火。泄漏的氣體,可導(dǎo)入苛性鈉和消石灰的混合溶液中處理,或者把泄漏的氣瓶放入通風(fēng)櫥內(nèi)。